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FMA5400A/5500A系列電子氣體質量流量計可控制0~10 SCCM范圍內高達100 SLM的多種氣體的流量。FMA5400A/5500A利用通過加熱管進行的熱傳遞測量氣體流量，可提供直接的氣體質量流量測量值，并且無需對（規(guī)定限值以內的）氣體溫度或壓力進行補償。
該產(chǎn)品可提供經(jīng)濟型鋁／銅結構，適合測量普通氣體流量，同時可提供316不銹鋼結構，適合有更高耐腐蝕要求的應用。不帶一體式顯示屏的FMA5400A系列流量計具有0 ~ -5Vdc和4 ~ 20 mA模擬量輸出，以便進行遠程監(jiān)測；FMA5500A系列流量計兼具一體式3-1/2位數(shù)字顯示屏和模擬量輸出。顯示屏可傾斜90度，查看讀數(shù)方便。顯示屏經(jīng)過校準，可直接顯示以SCCM或SLM為單位的氮氣流量（您可以通過專門訂購來獲得其它氣體校準）。
FMA5400A/5500A質量流量控制器具有內置常閉電磁閥，無論入口壓力或出口壓力如何變化，都能保持流量恒定。設定值可通過電位計（電位計可通過外殼中的訪問窗口訪問）進行本地控制，也可通過0-5 Vdc或4~20 mA模擬信號（現(xiàn)場可選）遠程控制
FMA5400A/5500A系列需要使用12~26Vdc電源（zui大電流800 mA），FMA545PW墻壁插入式插座電源可滿足其要求。12~15 Vdc功率@ 800 mAzui大值（限43、44、45的規(guī)格）。型號為FMA545C（單獨提供）的配件提供配接式15針""D""型連接器，帶8英尺屏蔽電纜用于訪問模擬輸出信號和電源輸入連接。FMA5500A系列配備的LCD通過通訊插頭與下面的電子設備相連。通過購買FMA18RC遠程電纜組件可以遠程安裝LCD，之后，您必須自行組裝組件以便進行LCD的面板安裝。
產(chǎn)品規(guī)格
精度：對于滿量程小于100 SLM ±1% FS的裝置，在15~25°C（59~77°F）和0.7~4.2 kg/cm2（10~60 psia）下具有線性度。對于≥100 SLM的裝置，滿量程：±1.5% FS，在15~25°C（59~77°F）和 0.7~4.2 kg/cm2（10~60 psia）下在20~100%的范圍內具有線性度；在0~20%的范圍內為±3% FS。
重復性：0.5％滿量程
溫度系數(shù)：0.15% FS/°C
壓力系數(shù)：0.01% FS per psi (0.07 bar)
zui大壓降：50 psid
響應時間：在25％~100％FS范圍內，5秒處于設定流量的±2%范圍內
zui大氣壓：70 kg/cm2表壓（1000 psig）（適用于zui高100 SLM的裝置）； 35
kg/cm2表壓（500 psig）；zui佳1.76 kg/cm（25 psig）
氣體和環(huán)境溫度：5~50°C（41~122°F）
泄露率：對外界環(huán)境的zui大泄漏率為1×10-7 cc/sec氦氣
接液材質：
鋁制流量計：陽極氧化鋁，316
SS，黃銅和FKM O形圈
不銹鋼型號：316 SS 和 FKM O型圈
輸出信號：
線性0~5 Vdc：1000 Ωzui小負載
4~20 mA：50~500 Ω 環(huán)路電阻，±20 mV zui大噪聲
傳感器電源：12~26 Vdc @ 800 mA 標準 量程比：40:1
裝運重量：1.8 kg (4 lb)
合規(guī)性：EN55011 1類，B類；EN50082-1
海拔靈敏度：水平流徑，傾斜到20°，校準也不會發(fā)生偏移
氣體相對濕度:0~70% RH
zui小壓降
|
SLM |
≤9 |
10-30 |
50 |
60~100 |
200 |
500 |
1000 |
|
psid |
1.1 |
3.9 |
8 |
18.9 |
10 |
12 |
15 |
FMA5400A/FMA5500A系列OMEGA流量計訂貨信息：
|
質量流量控制器 |
質量流量控制器 |
質量流量控制器 |
質量流量控制器 |
Maximum |
|
FMA5502A |
FMA5502A-ST |
FMA5402A |
FMA5402A-ST |
10 SCCM |
|
FMA5504A |
FMA5504A-ST |
FMA5404A |
FMA5404A-ST |
20 SCCM |
|
FMA5506A |
FMA5506A-ST |
FMA5406A |
FMA5406A-ST |
50 SCCM |
|
FMA5508A |
FMA5508A-ST |
FMA5408A |
FMA5408A-ST |
100 SCCM |
|
FMA5510A |
FMA5510A-ST |
FMA5410A |
FMA5410A-ST |
200 SCCM |
|
FMA5512A |
FMA5512A-ST |
FMA5412A |
FMA5412A-ST |
500 SCCM |
|
FMA5514A |
FMA5514A-ST |
FMA5414A |
FMA5414A-ST |
1 SLM |
|
FMA5516A |
FMA5516A-ST |
FMA5416A |
FMA5416A-ST |
2 SLM |
|
FMA5518A |
FMA5518A-ST |
FMA5418A |
FMA5418A-ST |
5 SLM |
|
FMA5520A |
FMA5520A-ST |
FMA5420A |
FMA5420A-ST |
10 SLM |
|
FMA5523A |
FMA5523A-ST |
FMA5423A |
FMA5423A-ST |
15 SLM |
|
FMA5524A |
FMA5524A-ST |
FMA5424A |
FMA5424A-ST |
20 SLM |
|
FMA5526A |
FMA5526A-ST |
FMA5426A |
FMA5426A-ST |
30 SLM |
|
FMA5527A |
FMA5527A-ST |
FMA5427A |
FMA5427A-ST |
40 SLM |
|
FMA5528A |
FMA5528A-ST |
FMA5428A |
FMA5428A-ST |
50 SLM |
|
FMA5540A |
FMA5540A-ST |
FMA5440A |
FMA5440A-ST |
60 SLM |
|
FMA5541A |
FMA5541A-ST |
FMA5441A |
FMA5441A-ST |
80 SLM |
|
FMA5542A |
FMA5542A-ST |
FMA5442A |
FMA5442A-ST |
100 SLM |
|
FMA5543 |
FMA5543-ST |
FMA5443 |
FMA5443-ST |
200 SLM |
|
FMA5544 |
FMA5544-ST |
FMA5444 |
FMA5444-ST |
500 SLM |
|
FMA5545 |
FMA5545-ST |
FMA5445 |
FMA5445-ST |
1000 SLM |
配件：
|
型號 |
描述 |
|
FMA545C |
15針D型母頭連接器，含8英尺屏蔽電纜 |
|
FMA545PW |
100-240 Vac 插座式插接電源 |
|
FMA545PW-220VAC |
220 Vac 插座式插接電源，歐式插頭 |
|
FMA545C-10 |
15針D型母頭連接器，含10英尺屏蔽電纜 |
|
FMA545C-12 |
15針D型母頭連接器，含12英尺屏蔽電纜 |
|
FMA545C-18 |
15針D型母頭連接器，含18英尺屏蔽電纜 |
|
FMA545C-25 |
15針D型母頭連接器，含25英尺屏蔽電纜 |
|
FMA18RC10 |
10英尺電纜，適用于遠程LCD安裝 |
|
FMA18RC25 |
25英尺電纜，適用于遠程LCD安裝 |
注: * Comes with ? FNPT connections instead of compression fittings. Comes complete with compression fittings, NIST certificate and operator’s manual.
Power supplies sold separately.
Flow ranges specified are for nitrogen or air at 20 psig inlet (up to 50 SLM) or 25 psig inlet (60 to 100 SLM units) and 0 psigoutlet. When used with other gases, a multiplication factor is used to determine the flow rate, and the digital display must berescaled in the field.
To request a custom calibration add the gas abbreviation and inlet pressure/outlet pressure as a suffix to the model number.
Calibration are done at ambient temperatures only, 21.1°C (70°F)
For oxygen cleaned units, add suffix “-C” to model number; add $125 to price.